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設備展示

shebeizhanshi

藍寶石909

外型尺寸2.5*2.3*3.0米
有效鍍膜空間960*950毫米
抽氣系統分子泵+機械泵
電源

80KW,380V,50HZ,5PHASE

偏壓高頻脈沖電源
靶源數

4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3

控制系統可編程控制器+電腦
鍍膜工藝溫度80～250度
典型涂層濺射TiN氮化鈦，濺射CrN氮化鉻，DLC類金剛石等等單層，復合，納米涂層